SJT 31092-1994 晶片数控切割(划片)机完好要求和检查评定方法
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ID： |
31DC7D5A347846E79B00C4F0169BDC90 |
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文件大小(MB)： |
0.29 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,晶片数控切割（划片）机完好要求,和检查评定方法,S.I/T 31092— 94,主题内容与适用范围,本标准规定了晶片数控切割（划片）机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于ESEC，8003型数控切割（划片）机,结构类似的其它型号数控切割（划片）,机,亦可参照本标准有关条款执行,2完好要求,2.1主要技术性能,2.1.!该机具有电视监视系统,其功能是在划片时检査划片质量,应准确、可靠,2.1-2使用微机控制划片工作台X、Y、Z和Q方向的动作驱动,应根据程序通过简单的输入,控制就应完成精确自动划片。附加微处理器软件修正,因而累积误差应小于0.05mm,2.1-3该机采用金刚石刀片（规格タ40mm.邮0mm）:达到加工晶片最大尺寸i52mm、厚度,lOjzm.500曲m要求（视刀片规格而异）,2.1-4划片工作进给速度应达到分段控制,即在刀片切入晶片瞬间用程序按排ー个很低的进,给速度以减少对晶片的冲撞,而且切入后,速度將逐步增加到正常的进给速度,2.1-5步进不均性应:VlOfnn,2-1-6 z轴下刀精度:应在±10卩m之内,2.1-/空气轴承温升:W26C,2-1-8 刀片转速:]500〇.500〇。r/min 可调,2-1-9工作中不发生自锁现象,2-2操作系统,2- 2-1各操作手柄、开关、按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2. 2-2制动、限位装置齐全,灵敏可靠,2.3传动系统,2. 3-1设备运转平稳,无冲击,无振动,2.3- 2主轴运转正常,无异常噪音,2. 3. 3切割、划片运动由微机控制四个步进电机驱动丝杆的x、Y、z和Q各自运转,要求传,动平稳,无冲击、无振动,运转正常,2.4润滑系统,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,SJ/T 31092-94,2.4.1 按设备对润滑剂及润滑部位的要求进行润滑,润滑系统各装置完好无损,管路齐全,油,路畅通,2.4- 2油位标志醒目,油窗明亮,油位清晰,2-5压缩空气系统,2. 5-1压缩空气是采用集中供气,气路应通气良好,无阻塞现象,要求提供经过过滤（水,尘,埃）纯净干燥的压缩空气,气压为0. 57MPa,供气量为2m3/min。均应符合主设备的所需要求,压カ、流量均由气压表和流量计调节、计量,2.5.2如配备专用空气压缩机时,所选用的空气压缩机的技术参数应符合设备之要求,否则,应配备干燥过滤装置（空气压缩机的完好要求参照有关标准检查评定）。但其主要技术指标应,符合所需要求（即气压、气量、气质等要求）,2.6真空系统,2. 6.1本设备所需真空抽气要求是单项吸片之用,真空极限压カ应达到。.019-0. 025Mpa,保证晶片吸附良好。真空泵工作时不得返油,运转正常,无异常噪音。（真空泵的，完好要求参照,SJ/T 31412-94 执行）,2.7 SJ/T冷却系统,冷却用的去离子水的压カ应在0.18-0. 27Mpa,流量100.150ml/s,2.8 电气系统,2. 8-1电源可选择2O8V、22OV、240V三种,电源50Hz、60Hz,单项功率为2. 5KVA,2. 8-2线路完整,执行元件性能正常,运行可靠,2. 8- 3线路绝缘层无老化、破裂,无漏电现象,保护装置齐全、有效,2.9数控系统,2 . 9.1主控单元、元器件性能可靠,运算正确,控制软件功能齐全,自检程序运行正常,2 .9.2位置控制单元,速度控制单元,连接单元的元器件性能可靠,定位准确,运行平稳,各控,制信号和控制回路畅通,2. 9-3手动数据输入和显示功能齐全、有效,2. 9-4伺服电机运行平稳,噪音、温升符合电机出厂指标,工作可靠,2.9- 5手摇脉冲发生器动作灵敏,到位准确,2 . 9. 6程序输入/输出装置保持清洁,输入/输出程序正确无误,2 .9.7控制柜内部清洁,布线整齐,线路无老化,各线路标志明显,2.10微机控制系统,2.10- 1各开关、按钮、操作键完整无损,运作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功?能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.10- 2显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.10-3输入/输岀程序正确无误,2-10.4打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,2-10-5装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2.10 - 6所有裸露导体件（包括外壳）,必须与保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件,和整机外壳之间的电阻不得大于0.1a,2,SJ/T 31092-94,2.11 设备环境要求,设备应安放在恒温室,有吸尘净化措施,恒温要求在20.24c范围内,净化在万级标准,并要求通风良好,2.12 安全防护,2.12.1 各安全防护装置齐全,安全、可靠,2.12.2 接地可靠,标志明显,2.13 维护保养,2.13.1 设备内外清洁,无锈蚀,无异味,2.13.2 设备出现故障应随时修理,不可带病工作,做好维修记录并定期检查。其它按SJ/T,31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检査方法,完好要求所列内容,凡有参数要求的条款（项目）,运用相应检测仪器、量具檢测,其它均在,设备现场,采用主观法检査,3.2 评定方法,3. 2-1 完好要求中,2. 1. 1、2. 1. 2、2. 1. 5.2. 1, 6、2ノ.9 和 2. 3. 1~2. 3. 3、2. 6. 1.2. 8. 3.,2.12,1- 2.12. 2为主要项目,其余为次要项目,3.2- 2主要项……
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